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紫外曝光、光刻

匯博光學提供IC半導體光刻機、FPD液晶面板曝光設備、PCB線路板曝光機系統使用的精密光學薄膜產品。

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匯博光學提供IC半導體光刻機、FPD液晶面板曝光設備、PCB線路板曝光機系統使用的精密光學薄膜產品。包括各種大功率深橢球分光鏡、45°平面反射鏡、介質膜反射鏡、鋁增強型反射鏡、復眼透鏡、365nm帶通濾光片、光配向反射鏡、異形反射鏡等。精密光學薄膜器件采用精密模壓及數控加工,鍍制多層硬質氧化物薄膜,具有光斑均勻性好、反射效率高、壽命長等特點。主要應用包括IC半導體、PCBLEDMEMSTFTLCD、紫外固化、紫外點光源等產業方向。

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